| 用于光谱仪器的狭缝旋转装置 |
| CN202223601888.3 2022-12-30 实用新型 |
| 2023-7-18 |
| 本实用新型涉及真空设备技术领域,具体涉及一种用于光谱仪器的狭缝旋转装置,包括:狭缝腔室、安装在狭缝腔室中的可调狭缝器、安装在狭缝腔室的外壁上并穿过狭缝腔室与可调狭缝器相连的狭缝驱动导入器、连接在狭缝腔室的两端的空心转轴、以及支承在空心转轴外壁上的旋转支承机构和密封支承机构。本实用新型减少了装置漏气率和放气率,避免了影响真空度的有害空间,有利于真空环境的获得和维持,避免了向真空环境内引入电流,具有易于安装、调试和维护的特点,克服了零件设计繁琐、生产成本高等缺点、不能直接观测狭缝位置时难于调整狭缝旋转方向与行程的缺点,易于狭缝找正、结构可靠稳定,能够对行程实现高分辨率控制。 |