产业专利数据
 
透射电子显微镜
 
JP2018107488  2018-6-5  发明申请
2019-12-12
 
  保持透过性膜的透射电子显微镜即使在电子束照射时也能够将透过性膜用作基准波，能够提高相位的分辨率。 [解决方案]由电子源发射的电子， 对保持试样的试样保持部进行电子束照射， 在不同路径上透射通过样品的电子束叠加到物体上，与包括电子双棱镜的透射电子显微镜形成干涉条纹， 所述电子双棱镜布置在电子束的行进方向的下游侧，所述参考波高于包括在预定空间频率分量中的消除元件。 图1[附图]
 
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