| 薄膜，通过处理室壁内的透明晶体和透明衬底的原位测量 |
| US16946263 2020-6-12 发明申请 |
| 2021-12-16 |
| 一种系统，包括透明晶体，所述透明晶体的至少一部分嵌入处理室的壁和衬里内。 透明晶体具有近端和远端，远端具有暴露于处理室的内部的远端表面。 透明薄膜沉积在远侧表面上，并且具有与衬里的化学性质基本匹配的化学性质。 一种光耦合装置，包括： 透光， 从光源通过透明晶体的近端，并将从远端表面，透明薄膜的表面和沉积在透明薄膜上的处理膜层的表面的组合反射回来的接收光聚焦到光谱仪中。 光谱仪用于检测聚焦光内的第一光谱，该第一光谱代表处理膜层。 |
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