| 具有最小化偏振调制的反射光学系统和具有该系统的椭偏光谱仪 |
| KR1020220000199 2022-1-3 发明授权 |
| 2023-6-21 |
| 本发明涉及反射光学系统和具有该反射光学系统的分光椭圆系统，更具体地，涉及其中设置反射表面以使偏振调制最小化的反射光学系统和具有该反射光学系统的分光椭圆系统。 本发明包括起偏器和检偏器，以及包括穿过起偏器的光和样品表面的法线的第一平面，以及包括穿过检测器的光和样品表面的法线的第二平面。 提供一种具有最小偏振调制的反射光学系统，包括第二反射光学系统，所述第二反射光学系统包括第二反射表面。 在此，第一反射面以使作为通过第一反射光学系统的光的p波偏振面的第一偏振面相对于第一基准轴向第一方向旋转的方式配置。 以及第二反射面，其中，作为通过第二反射光学系统的光的p波偏振面的第二偏振面被配置为使第二平面相对于第一基准轴和另一个第二基准轴在第二方向上旋转。 根据本发明的反射光学系统具有使偏振调制最小化的优点。 |
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