| 扫描显微镜探头 |
| RU2019110789 2019-4-11 发明授权 |
| 2019-12-9 |
| 领域 : 仪器工程。物质 : 本发明涉及扫描探针显微镜，即提供获得物体表面拓扑结构和其它性质信息的装置，用于通过原子力显微镜和纳米技术研究物体表面。 扫描显微镜探头由固定在支架4上的针头1和操作台2组成。 针1为单层碳纳米管， 在操作台2的自由端上设有供针头1自由穿过的孔3， 在其两侧有安装在悬臂2上的夹具5的一对弹性元件的自由端，和位于夹具5的元件上方的夹具6的一对弹性元件。 在夹持器的一侧，夹持器和夹持器的成对元件彼此刚性固定并固定在夹持器上，形成单个电导体，并且它们的表面涂覆有介电材料层。 此外，探针包括针位置控制信号源8，其电输入端通过夹具5和夹持器6的弹性元件对连接到针1。效果 : 扫描显微镜探头1CL，3DWG的高精度和可靠性。 |
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