| 包括切换模块的用于监测等离子体的多通道光谱系统 |
| KR1020220163224 2022-11-29 发明授权 |
| 2023-7-4 |
| 为了实现上述目的，在根据本发明的实施例的包括切换模块的多通道光谱系统中，所述切换模块将来自处理室的多个监测部分的光切换并传输到一个光谱仪，所述切换模块包括连接到所述处理室的每个监测单元的多个第一光学线路部件，以及第二光学线路部件，所述第二光学线路部件布置成与所述第一光学线路部件分开，同时面对所述多个第一光学线路部件，当所述第二光学线路部件移动时， 第一光学线路部件选择性地布置成与第二光学线路部件相对，并且第二光学线路部件在切换操作期间面向所选择的第一光学线路部件。 |
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