| 覆盖计量系统及方法 |
| TW107117087 2018-5-18 发明申请 |
| 2020-1-16 |
| 本发明揭示一种用於量测一样本之一覆盖误差之系统该系统可包含经组态以发射宽频照明之一宽频照明源该系统亦可包含经组态以将该宽频照明引导至经安置於该样本上之一目标的一或多个光学元件，其中该一或多个光学元件经组态以从该目标收集照明，且将其引导至一光谱仪，其中该光谱仪经组态以将从该样本收集之该照明的多个波长分散至一感测器的多个元件，以产生复数个信号该系统亦可包含一控制器，该控制器经组态以藉由比较该复数个信号与复数个经计算信号来计算该目标之一第一结构与一第二结构之间之一覆盖误差 |
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