| 一种光谱仪功率校准装置及方法 |
| CN202310407318.0 2023-4-17 发明申请 |
| 2023-6-30 |
| 本发明公开了一种光谱仪功率校准装置及方法,该装置包括激光器、可调光衰减器、分束器、光开关、驱动电路、功率调节模块、功率监测模块和校准系数计算模块,激光器在驱动电路的驱动下产生单色光,单色光通过可调光衰减器后进入分束器,分为参考光和校准光两路光束,参考光进入功率监测模块,获取参考光的参考功率值;校准光经光开关的第二通道进入光谱仪的分光模块,再通过探测器、数据采集模块和FPGA获取功率值,校准系数计算模块根据参考光的参考功率值和校准光的功率值计算获得功率校准系数。本发明能够实现对光谱仪的定期维护和自动化功率校准,保证光谱仪长期使用中的功率准确度。 |