| 基于共振散射光谱的晶片规模测试 |
| EP21217122 2021-12-22 发明申请 |
| 2023-6-28 |
| 本发明公开了一种用于使用共振光谱(RSS)对集成电路进行晶片级测试的系统，包括：照相机系统; 控制系统，用于将半导体晶片定位到照相机系统聚焦在共振部件上的位置; 照明系统，用于当共振部件位于所述位置时用入射光照明共振部件，其中在接收到入射光时，共振部件将背光散射成正交偏振，并且其中散射光具有与共振部件的共振波长匹配的波长， 以及光谱仪系统，用于分析所述散射光以产生作为所述谐振分量的特征的信号。 |
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