借助子区域扫描显微镜扫描样品的方法,计算机程序产品,计算机可读介质和借助扫描显微镜部件扫描样品的系统
 
DE102019114459  2019-5-29  发明申请

2019-12-5
 
  一种使用扫描显微镜扫描样品的子区域(10-15)的方法, 特别是借助于激光扫描显微镜或借助于扫描电子显微镜, 以及用于从样本的扫描区域(10-15)的样本数据(25)重建总图像(40), 如图所示, 所述方法包括以下步骤 : 确定样品的部分区域(10-15), 用扫描显微镜进行扫描, 特别是样品的子区域(10-15)和样品的子区域(10-15)的扫描顺序, 借助于一个机器学习系统(30),其中通过有监督学习,无监督学习,特别是基于汽车编码器的无监督学习和/或激励学习来改进确定样品的部分区域(10-15)的机器学习系统(30)被扫描显微镜扫描; 用光栅扫描样品的某些部分(10-15); 以及从样本的扫描部分(10-15)的数据(25)重建样本的整个图像(40),其中使用样本的扫描部分(10-15)的数据(25)估计样本的非扫描部分(10-15)。
 
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