| 具有优化光路的单色仪及其使用方法 |
| CN202111598814.6 2021-12-24 发明申请 |
| 2023-6-27 |
| 本公开涉及光谱测量仪器技术领域,尤其涉及一种具有优化光路的单色仪及其使用方法。该单色仪包括:发光组件用于提供宽光谱复色光;分光组件用于把宽光谱复色光分光为连续单色光,分光组件包括出射狭缝用于筛选连续单色光以得到目标单色光;半透半反镜设置在出射狭缝的出光侧用以将目标单色光分为反射光束和透射光束;第一光谱仪用于测量反射光束的谱密度曲线;第二光谱仪用于测量透射光束的谱密度曲线。本公开通过将连续单色光先后经过出射狭缝和半透半反镜,有效提高了反射光束和透射光束的波长一致性、避免产生边带现象,提高了单色仪的检测精度,并有效降低半透半反镜的镀膜工艺要求,降低了半透半反镜的制备工艺难度以及制备成本。 |