| 一种基于InGaAs阵列探测器的近红外薄膜质量在线监测系统 |
| CN202211712541.8 2022-12-29 发明申请 |
| 2023-6-23 |
| 本发明为一种基于InGaAs阵列探测器的近红外薄膜质量在线监测系统，包括近红外光探测器，所述近红外光探测器适于对被测薄膜材料进行扫描；扫描机架，所述近红外光探测器设置在所述扫描机架上，所述扫描机架适于带动所述近红外光探测器往复运动，以对薄膜进行扫描；上位机，所述上位机适于控制所述扫描机架工作，以带动所述近红外光探测器移动，并且所述上位机适于接收所述近红外光探测器扫描的薄膜数据，以根据薄膜数据进行分析；解决了现有近红外在厚度与面密度测量中扫描频度低下的难题，吸收了近红外光谱仪器的测量原理，通过数学模型或定标方程对薄膜材料中固溶物含量一致性的检测，实现了薄膜材料在线质量检测。 |
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