| 一种线扫描光谱共焦色散物镜 |
| CN202310388047.9 2023-4-12 发明申请 |
| 2023-6-23 |
| 本发明公开了一种线扫描光谱共焦色散物镜,包括:线光源入射端与接收端、色散物镜前组光学系统、孔径光阑、色散物镜后组光学系统;其中,色散物镜前组光学系统是由三组镜片组成的消色差光学系统,将入射光准直,向后传输;孔径光阑可以调节通光孔径,控制物镜的光通量;色散物镜后组光学系统是由三组镜片组成的增色差光学系统,将经由前组光学系统准直的平行光按照波长聚焦在不同的焦平面。本发明采用分段式双远心物镜结构,可以实现不同视场下各波长汇聚光均垂直于待测表面,降低轴外视场的测量误差,此外分段式的物镜结构可以根据不同测试需求,更换物镜的后组光学系统,从而能实现不同的测量范围和视场。 |