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扫描探针显微镜中的误差校正方法
US16316385 2017-7-12 发明申请
2019-12-5
本发明公开了一种扫描探针显微镜系统及其操作方法,用于以快速扫描速率产生扫描探针显微镜图像并减少振荡伪影。 在一些实施例中,使用反向一致图像配准方法来对准扫描显微镜图像的每一行的正向和反向扫描迹线。 在一些实施例中,使用有利于具有较高平滑度的扫描迹线的加权因子来组合对准的前向和反向扫描迹线。 在一些实施例中,扫描探针显微镜图像是电位图,并且提供了一种从电位图提取电导率图的方法。
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