| 一种晶圆对准系统以及方法 |
| CN202310183585.4 2023-3-1 发明申请 |
| 2023-6-23 |
| 本发明公开了一种晶圆对准系统，包括底座平台，所述底座平台上设置有第一吸附装置用于吸附第一晶圆，所述第一吸附装置相对设置有第二吸附装置，所述第二吸附装置上设置有晶圆位置调整装置，用于吸附和调整第二晶圆；所述第二吸附装置一侧设置有光纤，所述光纤一端对准所述第一晶圆和所述第二晶圆，另一端分散形成第一光纤接口和第二光纤接口，所述第一光纤接口连接光源，所述第二光纤接口连接所述光谱分析仪；所述第二吸附装置另一侧设置有光传感器。本发明提供了一种晶圆对准系统，能够有效结合设备及软件，就可以实现对晶圆绕x轴、y轴的精确对准。 |
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