| 一种芯片缺陷检测机 |
| CN202223560822.4 2022-12-30 实用新型 |
| 2023-6-20 |
| 本实用新型公开了一种芯片缺陷检测机，包括机台，机台上设有能够调节宽度的输送机构，输送机构的上方设有CCD相机模组，CCD相机模组由Z轴升降驱动控制升降，Z轴升降驱动包括立板，立板的底部设有用于测量高度的光谱仪，Z轴升降驱动由X轴驱动控制移动，X轴驱动由Y轴驱动控制移动。本实用新型利用光谱仪辅助Z轴升降驱动来定位CCD相机模组，位置更精确。本实用新型还采用了能够调节宽度的输送机构，方便根据不同大小的料盘进行调节，适应范围更广。 |
微信公众号