| 光谱仪 |
| JP2021199632 2021-12-8 发明申请 |
| 2023-6-20 |
| 所要解决的问题：提供一种能够提高对每个波长分散的光的位置分辨能力的分光计。 解决方案：光谱仪1包括：狭缝部件10，其形成有透射入射光LA的开口部11； 第一光学系统20，穿过狭缝部件10的开口部11的光入射在其上； 由第一光学系统20会聚的光入射的衍射光栅30up； 第二光学系统40，其会聚由衍射光栅30衍射的衍射光LB； 以及检测器50，其检测由第二光学系统40会聚的光。 狭缝部件10的开口部11的图像由第一光学系统20和第二光学系统40形成，并且狭缝部件10的开口部11布置在第一光学系统20的光轴方向上从第一光学系统20的前侧焦平面23移位的位置中。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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