| 一种近红外光与可见光的宽光谱光电探测器及其制作方法 |
| CN202010893490.8 2020-8-31 发明申请 |
| 2020-11-24 |
| 本发明属半导体技术领域,具体涉及一种近红外光与可见光的宽光谱光电探测器及其制作方法,包括:管座、第一光电芯片、陶瓷基板、第二光电芯片以及管帽;所述第一光电芯片固定在管座上;所述陶瓷基板固定在管座上,且第一光电芯片位于陶瓷基板的正下方;所述第二光电芯片固定在陶瓷基板的上表面;所述第一光电芯片和第二光电芯片的电极通过引线与管座的接线柱连接;采用储能焊的方式将管帽焊接在管座上,使光电探测器的内部器件处于密封环境;本发明通过器件内部封装结构设计,形成了双芯片垂直叠层的宽光谱探测器封装结构,实现了在无分光系统的情况下对单一光源在近红外光和可见光两部分信号的同步探测。 |