| 数字全息显微镜(DHM)以及使用该DHM的检查方法和半导体制造方法 |
| US16225638 2018-12-19 发明申请 |
| 2019-12-5 |
| 本发明提供一种低成本数字全息显微镜(DHM)，使用该DHM的检查方法以及使用该DHM的半导体装置的制造方法，所述低成本数字全息显微镜能够在以高分辨率精确地检查检查对象的同时以高速度执行检查。 该DHM包括 : 光源，被配置为产生和输出光； 分束器，被配置为使光入射到检查对象上，并输出来自检查对象的反射光； 以及检测器，被配置为检测所述反射光，其中，当所述反射光包括干涉光时，所述检测器生成所述干涉光的全息图，并且其中，在从所述光源到所述检测器的路径中不存在透镜。 |
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