产业集群信息网

产业专利数据

多通电子显微镜中的像差减小

WOUS19034167 2019-5-28 发明申请

2019-12-5

通过在谐振器的反射平面上具有样品的傅立叶图像(而不是实像)，提供了多通电子显微镜中改进的像差校正。样品再成像的结果-1倍率可以通过适当的样品放置或通过向谐振器添加补偿元件来补偿。这使得能够同时校正来自电子物镜的最低阶色差和球面像差。如果样品的实像在谐振器的反射平面上，则只能校正最低阶色差。