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光谱仪、光子集成电路器件及其制造方法
KR1020170166022 2017-12-5 发明授权
2023-6-14
根据一个方面的光子集成电路器件包括平面检测器,所述平面检测器包括至少一个光电检测器、平行于所述平面检测器布置的平面检测器、包括引导第一光信号的第一集成波导的波导层、形成在所述波导层上以在与所述波导层的边缘分离的区域中终止所述第一集成波导的腔、以及形成在所述腔中以将由所述第一集成波导引导的第一光信号反射到所述平面检测器的第一光检测器的第一反射面。
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