| 可调谐法布里-珀罗滤波器元件及其制造方法和光谱仪设备 |
| CN202010049694.3 2020-1-16 发明申请 |
| 2020-7-28 |
| 本申请涉及可调谐法布里?珀罗滤波器元件及其制造方法和光谱仪设备。根据一个实施例，可调谐法布里?珀罗(FP)滤波器元件100包括：第一FP滤波器堆叠110，被布置在可移动的第一载体元件120处；以及第二FP滤波器堆叠115，以与第一FP滤波器堆叠110相对的配置被布置在第二载体元件125处，其中，在致动时，具有第一FP滤波器堆叠110的第一载体元件120相对于具有第二FP滤波器堆叠115的第二载体元件125可垂直地移动，用于调整相对的第一FP滤波器堆叠110和第二FP滤波器堆叠115之间的距离d1，并且其中，可移动的第一载体元件120在SON衬底130中形成为SON结构(SON＝悬空硅)，其中SON结构120借助于机械弹簧元件135相对于SON衬底130可移动地悬置。 |
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