| 一种高信噪比的光谱共焦三维检测系统及方法 |
| CN202310124340.4 2023-2-16 发明申请 |
| 2023-4-4 |
| 本申请涉及一种高信噪比的光谱共焦三维检测系统及方法，属于三维检测技术领域。包括：复色光源单元，该复色光源单元包括阵列排列的若干光通道，向若干光通道输入复色光束的复色光源，以及控制同时或部分地向各光通道输入复色光束的空间光调制器；复色光源单元与被测物之间共轴且依次设有第一透镜组、分光镜和第二透镜组，在分光镜右侧依次放置有第三透镜组、狭缝、成像光谱仪和相机。本申请可通过空间光调制器控制各光通道同时或部分发出复色光束，进而将点扫描模式和线扫描模式有机融合，可提升系统的SNR，并可通过不同的工作模式，满足对SNR和检测时间不同的应用需求。 |
微信公众号