| 基于拉曼光谱的颗粒检测分析系统及方法 |
| WOCN21140415 2021-12-22 发明申请 |
| 2023-6-8 |
| 一种基于拉曼光谱的颗粒检测分析系统及方法，基于拉曼光谱的颗粒检测分析系统包括：光源组件(2)，用于产生激光并将激光进行分束；Y型光纤阵列(14)，其中每根Y型光纤包括输入端(502)、第一输出端(501)、第二输出端(503)，分束后的激光分别从每根Y型光纤的输入端(502)输入；微透镜阵列(13)，其中每个微透镜组与每根Y型光纤的第一输出端(501)分别对应，用于将激光聚焦于待检测样品(12)的表面，并收集被激光激发的拉曼信号，分别通过每根Y型光纤的第二输出端(503)输出；拉曼光谱组件(3)，用于接收拉曼信号并得到待检测样品(12)表面的颗粒成分和位置分布。该系统能够实现高通量、快速、实时的大尺寸掩模或晶圆表面的颗粒检测和成分分析。 |
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