| 一种用于深紫外波长范围发射光谱的光学系统 |
| IN202121055758 2021-12-1 发明申请 |
| 2023-1-13 |
| 本公开涉及光谱学领域，并且公开了一种用于深紫外范围内的发射光谱的紧凑型高分辨率光学光谱仪系统(100)。 系统(100)包括源(1)、具有或不具有耦合光学器件(9)的光谱仪光学器件组件(3)、以及信号分析子系统(13)。 由源(1)发射的光穿过狭缝(4)到达光谱仪光学组件(3)的准直单元(5)，在那里光被准直并被引导到色散元件(6)。 色散元件(6)将准直光衍射成其组成波长，该组成波长由聚焦单元(7)聚焦到阵列检测子系统(8)上。 检测子系统(8)同时产生对应于每个入射波长的信号。 信号分析子系统(13)收集、处理和分析信号以产生输出。 系统(100)具有低占地面积并提供改进的光通过量和高分辨率。 |
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