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使用扫描探针显微镜的光刻方法
KR1020180058201 2018-5-23 发明申请
2019-12-3
本发明涉及一种使用探针的光刻方法，即原子力显微镜，更具体地说，涉及一种用于形成(凸起)的光刻方法。 一种使用探针型原子力显微镜(AFM)的多层图案(凸起)。
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