| 一种反射式膜厚自动测量仪器 |
| CN202320184016.7 2023-2-10 实用新型 |
| 2023-6-6 |
| 本实用新型涉及膜厚测量技术领域，尤其是涉及一种反射式膜厚自动测量仪器，包括机柜、测量装置、存取机构和进出料部件；测量装置设置有测量处理主机、测量移动部件和测量探头部件，测量处理主机位于机柜内部并与外部电源连通，测量探头部件与测量处理主机之间电性连接；测量探头部件设置有探头安装筒、测量光源、起偏组件和光谱组件。通过在一个仪器中设置测量装置、存取机构和进出料部件，从而实现对晶圆膜厚的大规模自动测量，测量处理主机还可以分析记录存储查询所有晶圆膜厚的测量数据。测量探头部件通过设置分光组件和补偿组件，从而更加准确的对晶圆膜厚进行测量。通过上述的改进，可以实现对晶圆膜厚进行大规模准确的自动测量。 |
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