| 一种用于原位扫描电镜测试的载物仪 |
| CN201910948795.1 2019-9-29 发明申请 |
| 2019-11-29 |
| 本发明涉及样品台领域，特别涉及一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其包括舱体、第一密封圈、载物台、盖板、细绳、抽气部、密封盖、电池、控制器和电机，载物台安装在舱体内，样品装放在载物台上，盖板和抽气部可以对样品所在的空间进行真空密封，遥控器用于控制盖板的开启。本发明盖板的开启时机可控，可以确保电镜样品舱内达到真空后再对盖板进行开启，保证样品不受污染，在电镜内实现真空原位测试样品，盖板也可以在电镜样品舱任意真空度下遥控开启，使样品暴露在特定的气压环境下，以完成某些特定环境下的观测试验。 |
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