| 用于表征化学强化弯曲零件中的应力的增强型消逝棱镜耦合系统和方法 |
| US18070022 2022-11-28 发明申请 |
| 2023-6-1 |
| 公开了用于获得具有弯曲表面的化学强化(CS)衬底的校正数字模式谱的方法和装置。 所述方法包括使用具有用于测量平坦CS基板的系统校准的渐逝棱镜耦合系统来数字捕获CS基板的横向磁(TM)和横向电(TE)模式光谱，以形成数字模式光谱图像。 所述方法进一步包括基于数字捕获的TM和TE模式光谱与参考CS基板的参考TM和TE模式光谱相比的差异来建立校准校正。 将校准校正应用于数字模式光谱图像以形成校正的数字模式光谱图像，其可以使用用于测量平坦CS基板的系统校准来处理，以确定弯曲CS基板的折射率分布和应力特性。 |
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