| 用于1053nm波段的偏振无关的高效宽带金属介电双层光栅 |
| CN202111420982.6 2021-11-26 发明申请 |
| 2023-5-30 |
| 本发明公开了一种用于1053nm波段的偏振无关的高效宽带金属介电双层光栅，由上至下分别是：由两层高折射率介质层组成的光栅脊、光栅匹配层、金属反射镜和光栅基底，金属介电双层光栅的任意层均为长方体结构。该介电双层光栅的周期为：700?750nm，占空比为：0.4?0.48。金属反射镜的厚度大于金属的趋肤深度。当TE或者TM偏振光以利特罗角入射时，其?1级平均衍射效率在1000?1100nm波段超过98％，且偏振相关损耗在整个波段上的平均值为0.016dB。本发明可以由电子束直写装置与微电子深刻蚀加工而成，结构简易，容差大，适合大规模制造，可适用于光谱合束和脉冲压缩系统。 |
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