| 辉光放电发射光谱法及辉光放电发射光谱仪 |
| JP2020536478 2019-7-29 发明授权 |
| 2023-5-25 |
| 提供一种能够有效且迅速地调整辉光放电管内的压力的辉光放电发光分析方法及辉光放电发光分析装置。 该辉光放电发光分析方法使用辉光放电发光分析装置，该辉光放电发光分析装置包括辉光放电管、用于对辉光放电管的内部进行减压的减压部、以及用于向辉光放电管的内部供给气体的气体供给部。 在该方法中，任意指定最大压力、最小压力和最终压力。 通过减压装置和气体供给装置的控制，辉光放电管的内部被减压。 辉光放电管内的压力在规定的最大压力和最小压力之间增加和减少。 然后，将辉光放电管内的压力调整到规定的最终压力。 在辉光放电管内的压力已经被调节到规定的最终压力之后，产生辉光放电。 |
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