| X射线荧光光谱仪 |
| EP21885716 2021-9-10 发明申请 |
| 2022-9-28 |
| 本发明的X射线荧光光谱仪包括： 确定模块(21)，被配置为确定， 对于对应于具有待测量强度的次级X射线的测量线中的每一条， 基于假定厚度和各成分的已知含量计算的薄膜中的理论强度与基于各成分的已知含量计算的体密度中的理论强度的比值是否超过预定阈值； 以及饱和厚度量化模块(23)，其被配置为， 根据确定模块(21)的肯定确定， 基于各成分的已知含量，计算理论强度饱和的各测量线的饱和厚度，并采用最大饱和厚度作为厚度的定量值。 |
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