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显微镜及调整方法
JP2019157701 2019-8-30 发明申请
2019-11-28
[问题]精确准直照射通过显微镜样品的物镜的照明光,以及,显微镜的调节方法。 来自中继光学系统的光源光中继物镜5的该光源2a11p的入瞳面附近的In形成, 物镜5发出基本平行的光,用调节方法的照明光学系统11全反射荧光显微镜10照射样品, 物镜5对光源1的入瞳平面P的位置偏差进行位置检测,可以减小由于照射样品接近平行光而产生的偏差。 图2[图]
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