| 一种光谱仪 |
| CN202211490513.6 2022-11-25 发明申请 |
| 2023-5-16 |
| 本发明公开了一种光谱仪。所述光谱仪包括宽谱光源、多个带通滤波片、多个微腔、驱动源，光谱分析系统；微腔连接光谱分析系统；微腔中部设置有光电探测器，微腔内部其余位置由相变材料进行填充；待测样品设置在宽谱光源和多个带通滤波片之间，由宽谱光源发出的光通过待测样品吸收后产生的不同波长待测光，不同波长待测光通过多个带通滤波片后照射在多个微腔上，通过驱动源改变微腔中的相变材料的结晶度从而改变相变材料的折射率，进而对微腔的光程和共振频率，以及光电转换层的吸收峰的波长进行调控，以实现对不同波长待测光的选择性探测，从而实现光谱分析。本发明结构简单，制备材料与成熟的半导体器件生产工艺兼容，便于芯片集成。 |
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