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电子显微镜
JP2019091447 2019-5-14 发明申请
2019-11-28
在获得衍射图案的情况下，在电子显微镜中可以缩短工作距离。 [解决方案]100是电子显微镜， 电子束照射样品S， 从电子显微镜发射电子以获得由样品形成的衍射图案， 以及物镜4，样品台6和S被布置，物镜4被布置在样品台6之间，样品由从荧光屏10发射的电子形成投影衍射S，荧光成像装置10拍摄投影衍射图案12，包括。 图1[附图]
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