| 一种低成本运行的深能级跃迁光谱仪 |
| KR1020210063117 2021-5-17 发明授权 |
| 2023-5-16 |
| 根据本发明实施例的深能级跃迁光谱仪包括：脉冲生成器，用于产生包含待样品认可的直流和交流电压的偏置，用于测量样品的静电容量，支持样品，冷却部，用于将样品的温度冷却到超低温；为测量样品不同温度静电容量变化而增加样品温度的升温釜，为使试样保持稳定的温度，围绕试样和升温部由真空泵保持低真空的真空室；控制脉冲发电机的偏置生成，将控制冷却部和升温部的控制部以及脉冲生成器产生的偏置认可给样品，以使样品静电容量测量过程中的温度保持恒定；包括静电容量测量部，用于测量样品随时间变化的静电容量；控制部控制冷却部和升温部，使样品温度在1K至500K范围内变化和保持；包括氦气回收线和液化器，以使持续供应的液化氦在用于冷却样品后不被丢弃，或包括Crio制冷机或热电元件制冷机，以使设备使用所需的成本降至最低。 |
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