| 扫描电子显微镜 |
| US16398921 2019-4-30 发明申请 |
| 2019-11-28 |
| 当在成本或装置小型化方面不能使用高性能延迟电压施加电源时， 难以在施加电压变化的范围内充分地调整高加速度区域的焦点，难以识别焦点评价值最大的点。 为了解决上述问题，本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括 : 物镜，被配置为会聚从电子源发射的电子束； 电流源，被配置为向物镜提供激励电流； 配置成在样品上形成电子束的减速电场的负电压施加电源； 检测器，被配置为检测当电子束发射到样品时产生的带电粒子； 以及控制装置，被配置为从根据检测器的输出形成的图像计算焦点评估值。 控制装置计算当施加电压改变时的聚焦评估值，根据聚焦评估值的增加或减少来确定是增加还是减少激励电流，并且基于确定结果来提供激励电流。 |
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