| 具有宽工艺窗口的棱镜度量应力计 |
| JP2020553593 2019-4-1 发明申请 |
| 2021-8-19 |
| 棱镜耦合系统和方法，使用具有棱镜系统，深度区域和表面附近区域的初始TM模光谱的折射率分布已经化学增强的物品尖峰TE模和收集光谱的步骤。 初始TM模态谱TE和通过检查模态谱，它们在优选的弯曲应力选择容差下能够产生确定测量是否在窗口内的精确估计。 在优选的测量窗口中，但是如果不是，系统改变棱镜测量，收集的新TM模式光谱和TE模式光谱的配置。 新的TM模式频谱，并且优选地，直到它们到达模式频谱测量窗口，重复该过程。 随后，这些新的TM模式使用模式谱来确定弯曲应力和TE谱。 测量改变步骤，测量波长，边界流体的厚度，以及改变流体界面的折射率中的至少一个可以包括步骤1。 |
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