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使用具有超表面发射器和检测器的MEMS干涉仪的微型FT-MIR

US17453290 2021-11-2 发明授权

2023-4-25

提供了一种微型傅里叶变换中红外(FT-MIR)光谱仪。 FT-MIR包括在加热时发射辐射的超表面IR源、微机电(MEMS)干涉仪和测量来自MEMS干涉仪的干涉图的超表面微辐射热计，其中微型FT-MIR光谱仪的外径小于约20mm。