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高分辨率多通光谱分析仪

US16849552 2020-4-15 发明申请

2021-10-21

本发明公开了一种用于使用有效的多通道配置的高分辨率光谱分析仪(OSA)的系统。该系统可包括入口狭缝以允许光束向内通过。所述系统还可以包括光栅元件以衍射所述光束。该系统还可以包括回射光束的回射元件。该系统还可以包括反射光束的反射镜。所述系统可以包括出口狭缝，在一些示例中，所述出口狭缝可以与所述入口狭缝相邻。出口狭缝可以允许光束向外通过以进行高分辨率光学测量。