| 线形扫描彩色共焦量测系统 |
| TW111106642 2022-2-23 发明申请 |
| 2022-9-1 |
| 本发明提供一种线形扫描彩色共焦量测系统包括有一光源模组、一光学模组、一光导引模组以及一侦测模组。该光源模组用以产生一线形侦测光。该光学模组用以接收该线形侦测光该光学模组具有一色散物镜用以接收该线形侦测光并将该线形侦测色散形成复数道具有不同聚焦深度的线形色散光投射到一待测物上并从该待测物反射形成一线形测物光。其中该色散物镜具有一中心光轴每一线形色散光具有复数道子色散光分别投射到待测物上的不同位置每一子色散光的光轴与该中心光轴平行使得每一子色散光从该待测物上反射时被该色散物镜所接收。该光导引模组设置于该光源模组与该光学模组之间用以根据一控制讯号改变该线形侦测光进入该色散物镜的角度进而改变投射至该待测物上的位置。该侦测模组接收该线形测物光并将该线形测物光转换成一光谱资讯。该光谱资讯可借由适当峰值侦测演算法以及系统之深度反应校正曲线之转换可求得被测物体之形貌资讯。同时借由二维振镜之扫描可达到被测物体之全域三维形貌量测与重建之能力。; ..-..’.22-.-3 |
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