| 一种傅里叶变换光谱仪 |
| CN202211532162.0 2022-12-1 发明申请 |
| 2023-4-28 |
| 本发明公开了一种傅里叶变换光谱仪,包括迈克尔逊干涉仪系统;光源A发出的光束一于分光棱镜A产生射入检测系统的干涉光路一,动反光镜装置包括镜片和用于搭载并驱动镜片沿光路一方向往复运动的驱动器;驱动器包括滑轨和搭载镜片的滑块,滑块经直线电机驱动沿光路一方向往复运动、并由光栅尺实时测定位移信息。通过设置分光棱镜A、动反光镜装置、平面镜和静反射镜,由于干涉原理,检测系统能够通过采集干涉光路一的光强度的变化信息,结合由光栅尺测得的动反光镜装置的位置信息可以计算获得外界光光谱曲线数据。且通过设置光栅尺,并将镜片与之固定,能够通过光栅尺实时采集并反馈镜片的位置信息,从而为联动调节直线电机提供信息基础。 |