| 经由均衡器移动的可变光束尺寸 |
| WOUS21018731 2021-2-19 发明申请 |
| 2021-8-26 |
| 一种用于烧蚀材料的烧蚀系统可以包括激光源，一组均匀化光学器件和均匀化光学器件调节装置。 激光源用于产生激光束。 该组匀化光学器件接收激光束并包括第一匀化器和第二匀化器。 均化光学调整装置承载均化光学元件， 所述匀化光学调节装置被配置为选择性地调节所述第一匀化器和所述第二匀化器中的至少一个的位置，以便改变所述激光束的大小，所述激光束的大小的改变改变所述激光束的通量。 烧蚀系统可并入基于激光烧蚀的分析系统中，其中基于激光烧蚀的分析系统包括光谱仪。 |
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