| 红外辐射器元件和方法 |
| WOEP21050878 2021-1-15 发明申请 |
| 2021-7-22 |
| 一种IR辐射器元件(1)，其适合用作气体传感器、IR光谱仪或电子显微镜中的微型红外发射器(微热板)。 所述微热板包括由多个支撑臂(4)支撑的板(2)。 板和臂被制造为MEMS装置，该MEMS装置包括诸如碳化铪(HfC)或碳化钽铪(TaHfC)的导电耐火陶瓷的单个邻接件。 所述臂(4)中的每一个除了为所述板(2)提供结构性悬臂支撑之外，还充当所述板(2)的加热元件。 通过在臂(4)上施加电压来加热板(2)。 臂(4)还可以成形为吸收在加热和冷却臂和板期间产生的热机械应力。 例如，可以具有小于0.05 mm2的面积和在板(2)的最大尺寸的1%和10%之间的厚度的板可以被加热到4，000K或更大并且以小到0.5 ms的占空比再次冷却，从而允许在高达2kHz的频率下进行脉冲操作。 其小尺寸(10-200 μ m)和低功耗(例如10-100mW)使得微热板适用于低温应用、微型化装置或电池供电装置如移动电话中。 |
微信公众号