| 用于光学检查物体的设备和方法 |
| KR1020180061099 2018-5-29 发明授权 |
| 2023-4-26 |
| 本发明的各种实施例包括一种用于光学检查对象的设备和方法，包括：多波长光源单元，用目标对象照射多波长光对象； 光谱图像获取单元，用于获取来自所述目标对象的反射光或散射光的光谱图像； 图像处理器，其根据所述目标对象的位置从所获取的光谱图像中区分所述光谱并将特定对象处理成可视化图像； 以及检查单元，用于基于处理后的可视化图像来检查特定对象的应用结果，并且例如，基于从具有不同表面特性的对象反射或散射的光谱信息，从特定对象和基板分离特定对象(例如，粘合剂)和被粘物(例如，机械部件和电子元件)，通过分离和成像特定对象并使特定对象可视化，可以精确地检查特定对象的应用结果。 各种其他实施例是可能的。 |
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