| 衍射光学元件 |
| RU2022104964 2022-1-31 发明授权 |
| 2023-4-26 |
| 领域：光电仪器仪表。 物质：光电仪器的光学元件基座。 本发明可作为具有交叉色散的光谱器件的主要色散元件。 要求保护的衍射光学元件包含具有不透明工作层的基板，在该不透明工作层上制作主反射线条结构，该主反射线条结构是中阶梯衍射光栅的线条结构，以及垂直于主反射线条结构形成的附加线条结构。 所述附加凹槽结构为具有三角形凹槽的透射衍射光栅，制作在附加引入的20-70mcm厚的透明层上，位于主反射凹槽结构的上方。 效果：交叉色散光谱仪器的衍射光学元件的光谱特性增加，即在350nm波长处的高次衍射中的衍射效率增加了约14.3%(从35%到40%)，光散射相对于主谱线的强度从5×10-4变为1×10-4，分辨率提高了20%。 1 cl, 2 dwg |
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