| 一种白光干涉检焦系统和解调方法 |
| CN202211742364.8 2022-12-30 发明申请 |
| 2023-4-25 |
| 本公开提供了一种白光干涉检焦系统和解调方法，该系统包括：白光光源；模板，其上制备有图形；基板，放置于承片台上；光谱仪，用于透过图形采集模板与基板之间的白光干涉信号；控制系统，用于根据干涉信号采用傅里叶变换解调方法、互相关计算解调方法或模型传递解调方法计算模板与基板之间的间隙值。本公开利用该检焦系统，在较大的距离测量范围内，根据反射光谱的不同形状，采取不同的解调方法，该间隙解调方法消除了图形化表面对检焦光谱的影响，突破了因检焦窗口导致的对模板图形布局的限制。 |
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