| 一种同轴光谱共焦成像系统及用于三维测量的设备 |
| CN202211630877.X 2022-12-19 发明申请 |
| 2023-4-25 |
| 本发明公开了一种同轴光谱共焦成像系统，包括光源模块、色散镜头模组、光谱成像侧狭缝装置和光谱仪；光源模块提供宽光谱的光束并将其通过光源侧狭缝装置入射到色散镜头模组；色散镜头模组将入射的光依次透过其第一色散镜头模组、分光器件和第二色散镜头模组后射到待测物表面，还将经待测物表面反射的光依次透过其第二色散镜头模组、经分光器件的反射和透过第三镜头模组后会聚到光谱成像侧狭缝装置；光谱仪对会聚到光谱成像侧狭缝装置的不同波长的光进行成像。本发明通过入射和反射光路共轴共用一个第二色散镜头模组的方式克服了现有技术在测量较陡峭凹坑或孔洞时的遮挡问题，实现了对表面更深尺寸凹坑的测量。 |
微信公众号