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真空舱
CN202320136021.0 2023-2-7 实用新型
2023-4-25
本申请提供真空舱,用于真空紫外光谱辐射检测,包括:所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组;其中,第一腔体用于设置待测光源,第二腔体用于设置所述真空紫外光谱辐射计,所述第二腔体包括至少两个通孔,第一通孔与第一腔体连接,第二通孔与所述真空泵组连接。本申请提供的真空舱包括用于设置光源的第一腔体,无需利用法兰将光源固定,解决了光源接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。
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