| 在宽带检查系统中提供可调频谱能力的滤波器组件 |
| KR1020197033457 2018-4-12 发明授权 |
| 2023-4-25 |
| 提供一种可用于增加检验系统中可用的光谱带的数目的系统。 该系统可包括被配置为发射宽带照明的光源。 所述系统还可以包括过滤组件,所述过滤组件包括两个或更多个过滤单元。 两个或更多个过滤器单元可以包括具有一个或更多个各种过滤特性的两个或更多个过滤器。 该系统还可以包括两个或更多个马达,其被配置为朝向照明光束选择性地运行滤光器单元的选定滤光器。 使用该系统,可以增加要在检查系统中使用的可用光谱带的数量。 |